特点:
• 非接触式测量
• 无需附加参考物（面）
• 高速扫描(> 100,000 采样点/秒)
• 高空间分辨率(50 μm 采样间隔)
• 巨大的测量区域
• 低成本

应用范围:
• 几乎所有平定向反射面
• 夜晶显示器玻璃；• 半导体片
• 平晶
• 任意表面
• 光学非球面

技术规格:
• 测量范围:-300mm测量
• 光束直径:0.7mm
• 水平采样分辨率:0.2mm
• 检测器倾斜范围:5mrad
• 检测器倾斜分辨率:2μrad
• 高度测量范围:185μm
• 测量时间:<2分