应用:
Super-Spherotronic, Super-Spherotronic HR, UltraSpherotronic, Compact Spherotronic等都可以应用于下述场合的再生产或者实验室的曲率半径测量
• 凹面/凸面光学元件
• 研磨或抛光的光学元件
• 球面及球体
• 对样板
• 配合专用的测量环，还可以用于圆柱面的曲率半径测量
Super-Spherotronic HR 精密球径仪 |
|
Compact Spherotronic紧凑型球径仪 |
精密球环及平晶 |
特点:
• 主体结构使用厚重的不锈钢制造，与检测头之间的同心性优于1微米 (0.00004")
• 测量环用经过热处理的不锈钢制造并超高精密加工而成，每个测量环都带有标定数据。测量精度直接溯源于NIST标准
• 支撑球用红宝石或者碳化钨制造，避免热或者机械变形。支撑球同样精密地同心定位，定位精度优于1微米 (0.00004")
• 采用高精密的Heidenhain编码器，其误差小于0.2 微米 (0.000008")
• 用于零位标定的平晶面形精度为：λ/10
• 一套标准测量环直径范围为7.8---120mm(其他直径的根据客户要求定做)
型号系列:
• Super-Spherotronic HR • UltraSpherotronic • Compact Spherotronic
技术参数:
|
型 号
|
Super-Spherotronic HR
精密球径仪
|
Ultra-Spherotronic
超精密球径仪
|
Spherocompact:
紧凑型球径仪
|
|
测量范围
|
|
曲 率(凸)
|
+3.5mm～∞
|
+3.5mm～∞
|
+2.5mm～∞
|
|
曲 率(凹)
|
-6mm～∞
|
-6mm～∞
|
-4mm～∞
|
|
线性编码器行程
|
+/- 30mm
|
+/-30 mm
|
+/-12.5mm
|
|
被测样品直径
|
6～500mm
|
6～500mm
|
5～500mm
|
|
精度
|
|
线性编码器分辨率
|
0.1μm
|
0.01/0.05/0.1µm
|
0.1μm
|
|
线性编码器绝对精度
|
±0.2μm
|
±0.05μm
|
+/-0.2μm
|
|
曲率测量精度
|
0.01%.
|
0.005%.
|
0.05%
|
|
精密球环（选项）
|
精密球环
|
精密红宝石球环（选项）
|
|
标准环直径分别为：7.8mm、14mm、20mm、28mm、38mm、60mm、90mm、120mm
|
标准环直径分别为:12.5mm、25mm、50mm, 75mm、100mm、125mm
|
|
可选择：48mm, 75mm, 150mm, 225mm (特殊尺寸需求可订购)
|
特殊尺寸：6mm、150mm、 225mm (特殊尺寸需求可订购)
|
|
球径仪使用的精密平晶（选项）：Ф30mm λ/10、 Ф50mm λ/10、 Ф100mm λ/5、 Ф150mm λ/3
|
