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TriAngle UltraSpec - 高精度电子自准直仪

TriAngle UltraSpec系列电子自准直仪代表了高精度的角度测量系统,可满足对于极高角分辨率的测量需求。 \

主要特点

*优化机械与热学设计;

*使用PTB角度标准进行校准,提供测试证书和用户校准曲线;

*测量可始终溯源至国际标准;

*可提供具有300 mm 500 mm物方焦距的设备;                           

*测量范围可变,依据装置焦距测量精度最高可达0.05秒;

*在不利环境下仍可保证精确、稳定的测量;

*经严格校正的物镜具有很小的畸变与很高的分辨率;

*极低噪声的数字CCD摄像机;

*软件:OptiAngle 6;


应用


*实验室校准;

*半导体设备加工;

*高能物理;

*激光物理;

*空间科学;

因此,TriAngle® UltraSpec自准直仪被用在有最高精度与稳定性需求的高端检定、测量、调整过程中, 例如:

*调整与准直线性导轨;

*导轨运行测量;

*大区域表面平整度检测;

*光学部件的准直;

*机械与设备的校准;

*稳定性研究。




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TriAngle®UltraSpec测量

线性阶段的直线度





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