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WaveMaster® Plan - 平面元件的波前测量
WaveMaster® Plan 用于光学平板或光楔等平面光学元件的质量控制,系统利用内置的夏克·哈特曼 波前传感器透射式检测光学波前。 |
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WaveMaster Plan使用夏克·哈特曼传感器测量平面元素
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*综合分析平面光学元件;
*快速检测样品的产量;
*样品架可保证亚微米范围的校准;
*更换样品后,只需要进行最小的调整;
*夏克·哈特曼传感器具有高测量精度;
*与主透镜或设计文件中波阵面的实时比较;
*准直光源;
*防震设计;
*功能完备的软件;
应用
WaveMaster 透射式检测平面元的光学波前面型的质量。
基于夏克·哈特曼传感器的波前测量
WaveSenso软件控制WaveMaster 设备进行检测。它具有简明清晰的操作界面。包含所有测量与分析的功能,软件与夏克·哈特曼传感器进行通讯,能够对所得波前数据进行实时分析。
软件优势
*菜单指导用户;
*简单直观的波前测量与分析;
*一个软件包涵盖所有功能:数据收集、计算、显示、实时分析;
*可从ZEMAX和Code V加载理论值,并与实时测量结果相比较;
软件详细介绍
主要功能:
*实时显示波前采集和分析;
*显示:
*减少背景光线;
*波前、边缘以及相位的2D或3D的实时显示。
*峰谷和RMS的实时显示;
*光强的实时显示;
*倾斜度显示;
*实时显示照相机成像;
*导入波前理论数据与测量数据对比;
*绝对或相对式测量;
*倾斜和散焦的实时修正;
*样品调整工具(倾斜及位置调整);
*生成证书;
*多种分析模块可用;
MTF/PSF分析模块
*MTF/PSF的实时计算与显示;
*横截面的实时显示;
*便于导出测量结果;
*计算Strehl比率;
Zernike分析模块
*实时Zernike拟合和波前数据分析;
*拟合结果的数字和图形显示;
*从ZEMAX和Code V导入理论波前数据进行实时比较;
*将波前数据和分析结果导出为ASCII和ZEMAX格式;
*Zernike系数趋势的显示;
测量参数 |
*平面光学元件
*传输 |
样品直径* | 0.3 mm - 6 mm |
波长** | 365 nm - 1064 nm |
样品架 |
单座 手动定位 |
其他选择 | 可升级为紫外 WS 150/WS 100 |
精度 | <λ / 20(RMS) |
重复率 | <λ / 200(RMS) |
动态范围 | > 1000 λ |
检测频率 | 最大 16 Hz |
横向分辨率 | 60 x 80 |
样品直径 | 从0.3 mm - 6 mm |
*取决于光管
**依用户选择
WaveMaster® Compact的升级和附件
波前传感器的特点是灵活的设计,可以使用仪器适应特定的应用需求,借助以下附件和升级,WaveMaster系统的功能得到扩展。
波前传感器
当需要更高的动态范围或精度时,可以更换WaveMaster仪器的波前传感器,所有WaveMaster设备均可被升级到WaveMaster中。
照明
可升级为不同孔径、不同波长的光源。更换快捷简便。
光管
最大限度地利用传感器的动态范围,获得最高横向分辨率。
依据样品直径和波前传感器尺寸选择最佳放大倍率。更换快捷简便。