用于测量表面和波前变形的干涉仪
µPhase® 面型测试系统
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
产品特点
01 ▏高精度
对平面、球面、圆柱、复曲面和非球面部件的整个表面和波前变形进行高精度测量。
02 ▏多样化用途
µPhase®可普遍用于反射率从0.2%到100%的所有表面，由玻璃、塑料、金属和陶瓷等材料制成。
03 ▏可靠
客观的数字化测量可避免操作员的影响。同样，坚固的防尘外壳确保了高可靠性。
产品概述
µPhase®干涉仪是非常紧凑、小巧、轻便的数字化设备，可以在很多工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。
µPhase®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并代表特定的测量任务。此外，可以以低成本提供定制的解决方案。
| µPhase® PLANO DOWN 结构紧凑 µPhase® PLANO DOWN具有紧凑的设计，适用于在研发和生产中测量平面部件。
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| µPhase® PLANO UP 生产中的平面透镜 对于生产光学平板的经济高效的质量控制，µPhase® PLANO UP是很好的选择。
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| µPhase® SPHERO UP 生产中的球体 使用µPhase® SPHERO UP在生产中可以快速且经济地控制球面。
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