用于测量表面和波前变形的干涉仪
µPhase® 面型测试系统
µPhase®干涉仪可以对由玻璃、塑料、金属、陶瓷或类似材料制成的反射和透射组件的表面和波前变形进行快速、高精度测量。客观可靠的结果满足高质量管理要求。非接触式测量过程有助于防止损坏样品。
产品特点
01 ▏高精度
对平面、球面、圆柱、复曲面和非球面部件的整个表面和波前变形进行高精度测量。
02 ▏多样化用途
µPhase®可普遍用于反射率从0.2%到100%的所有表面，由玻璃、塑料、金属和陶瓷等材料制成。
03 ▏可靠
客观的数字化测量可避免操作员的影响。同样，坚固的防尘外壳确保了高可靠性。
产品概述
µPhase®干涉仪是非常紧凑、小巧、轻便的数字化设备，可以在很多工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。
µPhase®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并代表特定的测量任务。此外，可以以低成本提供定制的解决方案。
µPhase® ST/ST+R可以在研发和生产中灵活且经济高效地使用。
平面和球面样品的测量
紧凑型桌面支架，用于垂直测量，占地面积小
通过集成的倾斜和xy平移台实现样品优化对齐
垂直轴可粗调和微调，用于高精度调整
可选：半径数字化测量单位
