产品概述

  µPhase®干涉仪是非常紧凑、小巧、轻便的数字化设备，可以在很多工作环境中使用。在µShape软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。

  µPhase®传感器是TRIOPTICS干涉测量的基础。该传感器是模块化的，可以配置各种测量直径，并代表特定的测量任务。此外，可以以低成本提供定制的解决方案。

 µPhase^® ST/ST+R可以在研发和生产中灵活且经济高效地使用。  

• 平面和球面样品的测量

• 紧凑型桌面支架，用于垂直测量，占地面积小

• 通过集成的倾斜和xy平移台实现样品优化对齐

• 垂直轴可粗调和微调，用于高精度调整

• 可选：半径数字化测量单位