µPhase®
用于测量表面和波前畸变的干涉仪
高精度
多用途
可靠
产品
µPhase® 干涉仪是非常紧凑、小巧和轻便的数字设备，几乎可以在任何工作环境中使用。在 µShape 软件的支持下，可以进行广泛的测量分析。µPhase® 传感器是 TRIOPTICS 干涉测量的基础。传感器是模块化的，可以配置不同的测量直径，并代表特定的测量任务。此外，还可以低成本提供定制解决方案。
µPhase® 3.1/3.2/3.3.
高度灵活
Twyman Green 干涉仪传感器 µPhase® 以相同的设计用于不同的分辨率，可集成到您的设置中。
- 可以调焦和调整表面反射率（仅限 µPhase® 3.3）
- 可以集成到生产机器和生产线中
µPhase® VERTICAL 3
多样化
高度灵活且装配齐全的干涉仪系统，适用于生产、车间和实验室。
- 电动垂直 Z 轴
- 独特的设计适用于所有类型的反射和透射测量
- 集成式自动半径测量
更多信息
- 紧凑型设计的垂直测量结构，适用于狭小空间
- 集成的倾斜和 X-Y 平移台实现最佳样本对齐
- 模块化设计，可根据测量要求进行优化
- 可选：使用托盘支架和电动 X-Y 滑架，一次性自动测量多个样本的表面和半径
µPhase® VERTICAL PRO
自动化
µPhase® VERTICAL PRO 通过其托盘系统可自动测量 20 至 30 个样本。
- 测量球面、环面和非球面镜头以及由玻璃、塑料或金属制成的样本
- 最高精度，适用于半径达 50 mm 的样品
- 可自由配置和快速更换的样本支架
µPhase® PLANO DOWN
结构紧凑
µPhase® PLANO DOWN 结构紧凑，适用于研发和生产中的平面组件测量。
- 测量范围：直径最大 150 mm
- 样本放在花岗岩板上，从顶部测量
- 由于设备具有坚固的花岗岩底座，因此通常不需要隔振装置
- 设计紧凑，占地面积小
更多信息
- 升降柱高度可调，易于操作
- 操作直观简单，因此未经培训的人员也可以使用
µPhase® PLANO UP
生产平面镜头
在平面光学元件生产中，µPhase® PLANO UP 是高成本效益地确保质量控制的理想选择。
- 测量范围：直径最大 100 mm
- 设计紧凑，适合狭小空间，可直接放在生产机器旁边
- 将样本放在设备顶部的环形夹具或三点支架上，从下方测量
更多信息
- 抗振
- 连续测量，无需中间重新定心
- 操作直观简单，因此未经培训的人员也可以使用
µPhase® SPHERO UP
生产球面
使用 µPhase® SPHERO UP 能够在生产中高成本效益地快速检查球面质量。
- 测量范围：直径最大为 50 mm
- 设计紧凑，适合狭小空间，可直接放在生产机器旁边
- 将样本放在设备顶部的环形夹具或三点支架上，从下方测量
更多信息
- 抗振
- 连续测量，无需中间重新定心
- 操作直观简单，因此未经培训的人员也可以使用
µPhase® ST/ST+R
灵活而经济
µPhase® ST/ST+R 可以高成本效益灵活地用于研发和生产。
- 测量平面和球面样本
- 紧凑的台面支架，用于垂直测量，占地面积小
- 通过集成的倾斜和 xy 平移台实现最佳样本对齐
更多信息
- 垂直轴具有粗调和微调功能，用于高精度调整
- 可选：半径数字化测量单位
µPhase® UNIVERSAL
最高的多样性
µPhase® UNIVERSAL 具有多用途结构和模块化设计，可为研发工作提供很高的多样性
- 2、4 或 6 英寸测量系统，用于测试平面和球面表面
- 卧式结构，适合测量长半径
- 与其他传统的 4 英寸镜头兼容
更多信息
- 可选 CGH 支架，用于测量非球面、圆柱面或环曲面
- 可根据要求进行 MTF 和均匀性测量
µPhase® 定制解决方案
针对特定应用开发
µPhase® 的模块化结构和紧凑的设计使其成为一款应用广泛的干涉仪——甚至超越常见测量要求。
- 可根据标准组件为特殊应用实施定制解决方案
- 开发其他定制组件和软件模块
更多信息
软件
µShape
干涉仪软件
µPhase® 的最新版本 8 采用可自由配置的 µShape 软件，非常适合用于生产和研发。该软件控制测量过程，提供全面的分析选项，还有完整的文档记录。测量模板可提供最大的测量过程透明度，并可快速记录测试结果。
µShape 结构清晰、基于菜单的用户界面始终符合 µPhase® 全面使用的要求，通过各种可用模块可以多种不同方式进行扩展。购买 µPhase® 系统之后也可以随时添加这些模块。
µShape 软件主要用于 µPhase® 操作，但也可用于操作其他制造商的实验室和车间干涉仪。可以开发自定义功能。
特点
- 从管理员到生产用户，不同的访问等级可提供用户特定的访问选项
- 上下文特定的全面的直接帮助
- 可为任何类型的测量任务和分析轻松配置模板，因此易于使用，用户只需很少的培训
- 可方便地重新分析已保存的测量值，无需重新测量
- 以各种图形格式（bmp、jpg 等）轻松存储图像
- 可将单个参数或选定的数据字段快速导出为文本文件、二进制文件或其他常用文件格式（例如 QED、Zygo XYZ、DigitalSurf、INT），以进行外部处理
- 可通过任务描述中的样本参数扩展 MetroPro 兼容的文件格式
- 额外的二维多项式拟合
- 测量报告包含全面的测量结果，可以多种方式进行配置，包括客户徽标
- 通过单独的可视化校准和测量过程，机构清晰地显示程序模式
- 以 2D 或 3D 图形或自由选择的截面图形（1D）全面显示测量参数的测量值，包括集成的实时相机图像
- 可将所有参数和设置（包括窗口大小和位置）与样本文件存储在 µShape 程序文件中，快速测量重复零件
- 可根据任何显示器尺寸灵活地自定义屏幕显示
- 实时图像：作为附加窗口显示在第 2 个屏幕上
- 通过持续开发和定期更新始终保持最新技术——按要求或作为软件固定费率
- 完全兼容 Windows 10（64 位和 32 位系统）
功能
“非球面”：在球面或 CGH 设置中的非球面分析
- 使用非球面模块，可以通过计算机生成的全息图 (CGH) 分析非球面设置中的强非球面，也可以分析球面设置中的弱非球面。可以输入并保存非球面的描述。支持各种格式（旋转对称）。剩余调整误差以及系统性设置误差可通过非球面调整拟合进行补偿。
“圆柱面”：气缸分析
- 圆柱模块在圆柱面设置中（通过 CGH）分析圆柱面样品。剩余调整误差通过圆柱面调整拟合进行补偿。
“外部接口”：外部通信接口
- 通过外部接口模块，µShape™ 可以和外部软件（如 LabVIEW™）通信，以便通过外部程序控制干涉仪，例如在自动化系统中
“FastFringe“：静态条纹分析
- 该模块可对单个干涉图进行分析，有助于在不稳定的环境中或使用不带相移装置的干涉仪进行测量。
“光纤连接器”：光纤连接器分析
- 通过光纤连接器模块可以根据国际 IEC 标准分析 PC（物理接触）型光纤连接的端面。只需一次测量即可收集主要参数，并可选择显示通过/失败分析。
“均匀性”：测量透明样本的均匀性
- 可以在单独的程序模式中测定影响穿过样本的光路的两个方面，即均匀性（折射率的变化）和厚度变化。
“数学模式”：数学模式
- 该程序模式可以将各种数据分配与数学计算相结合进行分析，对结果进行额外分配。无法进行矩阵计算。
“多个光圈”：一步完成多光圈分析
- 该模块可以对视场内的单个未连接光圈进行联合测量和分析，例如，用于测量安装在抛光头上的组件。
可以同时测量未连接的光圈，还可以进行楔形分析。该分析可用于在一个步骤中确定平面镜的楔角以及物体后面带有附加镜的平面传输板的光楔。
“多重统计”：对多个子光圈进行相同的统计分析
- 如果样本规范为同一样本的不同子部分定义了不同的限值，MultiStat 模块可以对单次测量中的所有子区域进行相同的分析。每个部分的结果将单独发布。
“MTF/PSF”：MTF 分析
- 在光学领域，MTF 用于描述光学系统的质量。该模块可以计算聚焦和无焦光学元件和系统的 MTF
“棱镜”：棱镜分析
- 对通过 90° 或 0° 目标角度的误差偏差观察到的干涉模式进行分析，可以干涉法测量 90° 和三棱镜上的角度误差。
“粗糙度/PSD”：粗糙度和功率谱密度 PSD 分析
- 通过该模块可以计算功率谱密度 (PSD) 以及沿着自定义直线的粗糙度参数。
“样本正态数据”：考虑已知的样本偏差
- 通过样本数据（Sample Normal Data - SND）可以识别额外的样本误差，并在测试中将其考虑进去，例如由于光学设计（基于设计的标称值）引起的偏差。
升级
- 将 µPhase® 传感器从 µPhase®1 更换为 µPhase®3.3，将相机分辨率从 608 x 608 像素提高到 1216 x 1216 像素
- 水平或垂直支架
基本 µPhase® 单元和平面镜头有卡口连接，可在各种系统结构之间快速轻松地切换。 - 各种直径的平面和球面校准表面
- 无涂层
- 反射 - 在办公室工作站不直接使用 µPhase® 硬件的情况下进行离线分析和记录的许可证
µPhase® 3 XL 与不同的波长
久经验证且高度集成的 µPhase® 3 XL 相移干涉仪经过改进，可用于各种波长：
- 支持蓝色、绿色和深红色光源
- 目前为 405、532 和 1064nm，其他波长可应要求提供
- 标准版本 @ 633nm
- 对于所有波长都有反射率自适应和物平面聚焦能力
- 对于所有波长传感器的机械尺寸和接口都相同
- µLens SPHERO 10 f/0.7
- µLens SPHERO 10 f/1
- µLens SPHERO 10 f/1.5
- µLens SPHERO 10 f/3
- µLens SPHERO 10 f/5.2
- µLens SPHERO 50 f/0.7
- µLens SPHERO 50 f/1
- µLens SPHERO 50 f/1.5
- µLens SPHERO 50 f/2.4
- µLens SPHERO 50 f/4.1
µLens SPHERO 物镜与 µLens SPHERO 10 结合使用
µLens SPHERO 物镜与 µLens SPHERO 50 结合使用
与 InterOptics 合作
OptoFlat
平面光学元件专家
OptoFlat 短相干涉仪专门用于测量平面光学元件。
- 可立即投入生产且具研究能力的亚纳米级精度平坦度干涉仪
- LED 照明系统可最大限度地减少相干伪影
- 非接触式手波传感器无需键盘输入即可开始测量