WaveSensor® & WaveMaster®

夏克-哈特曼(Shack-Hartmann) 波前传感器

为了确保复杂的光学设计在生产后能够完全实现其性能,必须使用合格的检测技术。波前测量特别适合这一目的,因为它在空间分辨的基础上,即在所有视场角和整个样品孔径上确定图像质量。与传统的MTF测试相比,这不仅可以实现基于点的质量测量,还可以实现整个孔径的连续对准。

高度灵活

WaveSensor 波前传感器和 WaveMaster® 波前测试系统具有高达 2000 λ 的最大动态范围,因此待测量的镜头设计可以具有更高的灵活性。

可重复的高精度

除了高达 λ/20 (RMS) 的测量精度外,由于结构紧凑、坚固耐用和抗振设计,还可实现 λ/200 (RMS) 的高重复性。

立即评估

将测量的波前数据的实时结果与样品镜头的设计值进行比较和评估。

产品

这些传感器可实时分析整个光学系统或单个表面,确定波前(PV,RMS)、泽尼克系数、点扩散函数 (PSF) 、调制传递函数 (MTF) 、斯特列尔比、曲率半径和非球面系数。由此可以得出关于质量控制和生产过程两方面的结论。

更多信息

WaveSensor 波前传感器是 TRIOPTICS 公司实现对球面、非球面、自由曲面、平面单镜头及镜头系统进行波前测量和分析的基石。它使用一个 夏克-哈特曼(Shack-Hartmann) 传感器,既可单独使用,也可以集成到完整的波前测量系统中。

WaveMaster® Compact 紧凑型波前测量仪和 WaveMaster® Plan平面元件波前测量仪由于其简单的操作和灵活性,具有多种自由度,为镜头研发和单个镜头的随机质量测试进行了优化。可对表面和/或整个光学组件进行分析。

TRIOPTICS公司 的 WaveMaster® PRO 2 量产型波前测量系统为生产进行了优化,可进行大批量测量。在有些应用中由于没有考虑到样品所拥有大视场角,仅进行轴上的波前测量是不够的,WaveMaster® Filed 全视场型波前测量仪和 WaveMaster® UST 为这类应用提供了解决方案。
WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 PLAN

WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 PLAN

实现镜头和晶圆的批量测试

WaveMaster® PRO 2 量产型波前测量仪用于对镜头和晶圆进行批量测试。

  • 全自动测量大批量样品(晶圆或装载托盘)
  • 每个镜头的测量时间小于 3 秒,高效的测量步骤可达到极高的样品测试量
  • 高重复性

更多信息

  • 用户可以与设计数据或标准产品相比较,自定义用于进行质量控制的合格/不合格标准范围
  • 导出每一个镜头的测量数据,确保测量结果的高透明度,对材料缺陷和生产错误方面进行最佳生产控制
WaveMaster® Field全视场型波前测量仪

WaveMaster® Field全视场型波前测量仪

轴外波前测量

WaveMaster® Field 全视场型波前测量仪专门用于单个镜头和物镜在大视场角的情况下测试。

  • 通用型波前检测,最大 60° 视场角
  • 灵活、简单地调整每一个入射角和波长
  • 丰富多样的样品夹具可根据不同样品类型进行调整,特别适合研发工作

更多信息

  • 通过以下镜头参数来描述样品特征:焦距(EFL)、传递函数(MTF)、畸变、泽尼克分析

软件

WaveSensor波前传感器 或 WaveMaster® 波前测量系统软件

该软件结构清晰、易于操作,包含使用 WaveSensor® 波前传感器或 WaveMaster® 波前测量系统的测量分析球面和非球面样品所需的所有功能。配置十分灵活,可以显示所有重要的测量结果。

软件与夏克-哈特曼(Shack-Hartmann) 传感器通信,实时分析测得的波前数据。此外,WaveMaster® 还控制测量系统,例如进行样品自动对齐。

  • 清晰直观、菜单引导的可配置操作方法
  • 简单直观地实时测量和分析整个镜头组件或表面的波前数据
  • 一个软件满足所有测试需求:数据采集、数据计算、校准和数据显示
  • 绝对和相对测量模式,可与 ZEMAX 和 Code V 的理论设计数据或与参考镜头的数据进行实时对比
  • 输出测量证书,确保完整的文档记录
  • 在可调测量和分析范围内清晰描述
    • 2D 波前图像
    • PV 和 RMS
    • 强度
    • 相机图像
  • 通过多参数设置完整显示表面形貌:
    • 非球面方程
    • 泽尼克多项式
    • 圆锥曲线
    • 球面方程
    • 自由曲面
WaveMaster® 软件

升级

所有 WaveMaster® 波前测试系统都具有灵活的设计,可以根据您的具体应用要求调整配置。

通过对样品进行单独调整,可以进行完整分析。使用运动型光学调整架可轻松更换光源和望远镜。

  • 提供不同波长和数值孔径的光源
  • 各种型号的望远镜可在样品和传感器之间实现最佳放大倍数
  • 用于不同曲率半径的表面的透镜组件
  • 样品支架和托盘
  • 标准样品

软件模块针对波前测试任务经过专门优化:

泽尼克分析模块

  • 实时泽尼克拟合和波前分析
  • 拟合结果和残差的数字和图形显示
  • 从 ZEMAX 和 CODE V 导入波前设计数据进行实时比较
  • 将波前数据和分析结果导出为 ASCII 和 ZEMAX 格式

MTF/PSF 分析模块

  • 实时计算和显示 3D MTF 和 PSF 数据
  • MTF 测量结果表格
  • 测量结果导出功能
  • 计算斯特列尔比

  • 扩大测量范围
  • 复曲面(柱面)镜片测量升级(自动标记物检测、简化 MTF 测量、目视检查)
  • 546 nm 波长测试升级
  • 不同孔径大小的镜头支架
  • 模拟眼,可选加热功能